3. Calcularea sistemului de vid

Fluxul total de gaz care intră în sistemul de vid are mai multe componente: flux tehnologic care vine de la suprafața materialului tabletelor de formare a filmului (POM), fluxul de proces care vine de pe suprafața elementelor active ale GFP, fluxul de eliberare a gazului din suprafața pereților camerei, fluxul de degajare a gazului de la suprafața matriței, fluxul datorită permeabilității prin peretele camerei de vid, fluxul scurgere în sistem datorită imperfecțiunilor sigiliilor:

Gazul de alimentare care intră în sistemul de vid din elemente active () pot fi estimate prin formula:

în care: - aria suprafeței elementului activ, m 2; - viteza de eliberare specifică a gazului de la suprafața elementului activ); - numărul de elemente active din camera.

Fluxul de proces care vine de la suprafața elementului activ:

Suprafața elementului activ:

în care: - raza elementului activ, m; - lungimea elementului activ, m.

Fluxul care vine de la suprafața materialului peliculogen tablete (POM) este compus din trei componente: ,,, care se calculează cu formula (4):

în care specifică a gazului de viteză a materialului liant); - comprimate suprafață POM m2.

Se calculează suprafața de POM comprimate:

Fluxurile care provin de pe suprafețele tabletelor materialelor formatoare de film:

,

,

.

Fluxul total de. tablete care provin de la suprafața materialului de formare a filmului (POM):

.

Se calculează fluxul degazarea din suprafața pereților camerei:

în care viteza gazului specific cu o suprafață de perete); - aria suprafeței peretelui orientat vid, m 2; ) - pentru oțel inoxidabil [2]

în care: - raza camerei, m - înălțimea camerei, m; m [1], m [1].

.

Calculăm curentul degazarea de pe suprafața matriței:

în care viteza de producere a gazului specific de suprafață); - suprafață de afișare orientare, m 2; ) - pentru oțel inoxidabil [2]; m2 [1].

.

Fluxul de gaz care intră în sistemul de vid datorită permeabilității peretelui camerei de vacuum, poate fi estimată prin următoarea formulă [2]:

unde constanta de permeabilitate - aria suprafeței pereților cu care se confruntă vidul, m 2; - presiunea din interiorul camerei de vid; - presiunea în exteriorul camerei de vid; - numărul de atomi de gaz în moleculă; grosimea peretelui camerei de vacuum; - energia de activare a permeabilității de gaz,; - constanta universală a gazelor, - o temperatură termodinamică a pereților camerei.

Acceptam trei flux de gaz principal prin pereții camerei de vacuum: fluxuri de hidrogen, azot și monoxid de carbon.

Valorile constantelor din ecuația (9), iar procesul de permeație a gazului ce caracterizează prin peretele camerei de vid, este prezentat în tabelul 2:

Tabelul 2 - Coeficienții care caracterizează procesul de permeabilitate de gaz prin peretele camerei de vacuum

.

.

Fluxul de monoxid de carbon:

.

Deoarece (hidrogen) >> (azot) și (hidrogen) >> (oxid de carbon), calculele acceptă numai = (hidrogen) =.

Gazul de alimentare care intră în camera de vid, prin compușii de etanșare pliabile [2]:

unde probabilitatea prezenței unei scurgeri, curentul de gaz transmisiv la sensibilitatea detectorului de scurgere ,; debitul minim, detectorul de scurgere detectat ,; -număr compuși sistem de vid.

.

Apoi, fluxul total de gaz care intră în sistemul de vid, calculat conform formulei (1) 

.